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锗烷GeH4 混合物
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锗烷GeH4 混合物

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产品描述
参数

  为了提供小于100%的浓度,锗烷可以用氩、氦、氢、氮稀释。特别是当相对少量的锗需要沉积时,使用这种形式的锗烷可以使工序增加一个额外的控制程度。

容器信息

气瓶接头: CGA-350
掺杂浓度可以与UHP 或 VLSI级别的平衡气相混合。

锗烷浓度

气瓶尺寸

压力
磅/平方英尺

氩气

氦气

氢气

氮气

ft3

m3

ft3

m3

ft3

m3

ft3

m3

5ppm - 2%

044
016

1500
1500

167
63

4.7
1.8

146
55

4.1
1.6

146
55

4.1
1.6

156
58

4.4
1.7

为了安全考虑,高浓度混合物的压力低于上面显示的压力。由于锗烷具有潜在的不稳定性,因此气瓶只灌冲了少量的锗烷。如果其自发分解,气瓶可以安全地容纳热量和压力。

保存期限:6个月

1

发货信息

氢平衡

含量

货物名称

货运票据

装运标签

>62.2%

_% 锗烷/氢气混合物吸入危害

压缩气体, 有毒,易燃, 未另作说明 (_% 锗烷/氢气混合物) 2.3 UN 1953 吸入中毒危害, 危险区B

有毒气体
易燃气体

62.2% - 20.7%

_% 锗烷/氢气混合物 吸入危害

压缩气体, 有毒,易燃, 未另作说明 (_% 锗烷/氢气混合物) 2.3 UN 1953 吸入中毒危害, 危险区C

有毒气体
易燃气体

20.7% - 12.44%

__% 锗烷/氢气混合物 吸入危害

压缩气体, 有毒,易燃, 未另作说明 (_% 锗烷/氢气混合物) 2.3 UN 1953 吸入中毒危害, 危险区D

有毒气体
易燃气体

<12.44%

_% 锗烷/氢气混合物 吸入危害

压缩气体, 有毒,易燃, 未另作说明 (% 锗烷/氢气混合物) 2.1 UN 1954

易燃气体

 

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