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锗烷GeH4
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锗烷GeH4

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产品描述
参数

  锗烷是一种无色、有毒的易燃气体,带有刺激性气味。其可在空气中自发燃烧。它可与氢、氩、氦、氮相互兼容,经常与这些气体混合运送。锗烷被用于外延硅和非晶硅、锗、合金的沉积,且作为(Si, Ge)02薄膜等离子体增强化学汽相沉积的一种成分,为光电子的应用提供了可控的折射率。通常以游离气体而非自身压力下的液化气体进行运送。

容器信息

气瓶尺寸

容量

 

21.1°C温度下的压力:            a130、b118或c104磅/平方英尺
阀门出口:                      CGA-350/DISS-632
装运描述:                      锗烷,2.3, UN2192,吸入中毒危害,危险区B
装运标签:                      有毒气体,易燃气体
引导编号:                      18
CAS注册号:                     1590-87-0

 

A030a
A016b
A07c

1000
500
200

 

规格

锗烷成分

电子等级 
纯度最少99.999% (不包括乙锗烷和氢气)

二氧化碳

< 2 ppm

一氧化碳

< 1 ppm

氢气

< 50 ppm

氮气

< 2 ppm

氧气 + 氩气

< 0.5 ppm

总碳氢化合物 (如,甲烷)

< 1 ppm

三锗烷

< 1 ppm

保存期限: 1 年

 

物理性质

分子量

76.64

空气中的可燃度极限

自燃的

气体在1个标准大气压(空气=1)和70cF(21.1°C)温度下的比重

2.65

气体在1个标准大气压和70cF(21.1°C)温度下的密度

0.198lbs/ft3 (3.17g/l)

气体在1个标准大气压和70cF(21.1°C)温度下的比容

5.05ft3/lb (0.315l/g)

在75.1 磅/平方英尺 (518 kPa)气压的熔点

-266.6℉ (-165.9°C)

在1个标准大气压的沸点

-127℉ (-88.4°C)

临界温度

94.7℉ (34.8°C)

临界压力

805.3 磅/平方英尺 (55.5 bar)

毒性

 

时间加权平均阈限值>

0.2 ppm

半数致死浓度

50 ppm

 

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