锗烷GeH4
锗烷是一种无色、有毒的易燃气体，带有刺激性气味。其可在空气中自发燃烧。它可与氢、氩、氦、氮相互兼容，经常与这些气体混合运送。锗烷被用于外延硅和非晶硅、锗、合金的沉积，且作为(Si, Ge)02薄膜等离子体增强化学汽相沉积的一种成分，为光电子的应用提供了可控的折射率。通常以游离气体而非自身压力下的液化气体进行运送。
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容器信息 |
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气瓶尺寸 |
容量 |
21.1°C温度下的压力： a130、b118或c104磅/平方英尺
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克 |
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A030a |
1000 |
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规格 |
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锗烷成分 |
电子等级 |
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二氧化碳 |
< 2 ppm |
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一氧化碳 |
< 1 ppm |
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氢气 |
< 50 ppm |
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氮气 |
< 2 ppm |
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氧气 + 氩气 |
< 0.5 ppm |
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总碳氢化合物 (如，甲烷) |
< 1 ppm |
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三锗烷 |
< 1 ppm |
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保存期限: 1 年 |
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物理性质 |
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分子量 |
76.64 |
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空气中的可燃度极限 |
自燃的 |
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气体在1个标准大气压（空气=1）和70cF(21.1°C)温度下的比重 |
2.65 |
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气体在1个标准大气压和70cF(21.1°C)温度下的密度 |
0.198lbs/ft3 (3.17g/l) |
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气体在1个标准大气压和70cF(21.1°C)温度下的比容 |
5.05ft3/lb (0.315l/g) |
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在75.1 磅/平方英尺 (518 kPa)气压的熔点 |
-266.6℉ (-165.9°C) |
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在1个标准大气压的沸点 |
-127℉ (-88.4°C) |
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临界温度 |
94.7℉ (34.8°C) |
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临界压力 |
805.3 磅/平方英尺 (55.5 bar) |
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毒性 |
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时间加权平均阈限值> |
0.2 ppm |
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半数致死浓度 |
50 ppm |
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