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为了提供小于100%的浓度，锗烷可以用氩、氦、氢、氮稀释。特别是当相对少量的锗需要沉积时，使用这种形式的锗烷可以使工序增加一个额外的控制程度。
容器信息 | ||||||||||
气瓶接头: CGA-350 | ||||||||||
锗烷浓度 | 气瓶尺寸 | 压力 | 氩气 | 氦气 | 氢气 | 氮气 | ||||
ft3 | m3 | ft3 | m3 | ft3 | m3 | ft3 | m3 | |||
5ppm - 2% | 044 | 1500 | 167 | 4.7 | 146 | 4.1 | 146 | 4.1 | 156 | 4.4 |
为了安全考虑，高浓度混合物的压力低于上面显示的压力。由于锗烷具有潜在的不稳定性，因此气瓶只灌冲了少量的锗烷。如果其自发分解，气瓶可以安全地容纳热量和压力。 | ||||||||||
保存期限：6个月 | ||||||||||
发货信息 | |||
氢平衡 | |||
含量 | 货物名称 | 货运票据 | 装运标签 |
>62.2% | _% 锗烷/氢气混合物吸入危害 | 压缩气体, 有毒，易燃, 未另作说明 (_% 锗烷/氢气混合物) 2.3 UN 1953 吸入中毒危害, 危险区B | 有毒气体 |
62.2% - 20.7% | _% 锗烷/氢气混合物 吸入危害 | 压缩气体, 有毒，易燃, 未另作说明 (_% 锗烷/氢气混合物) 2.3 UN 1953 吸入中毒危害, 危险区C | 有毒气体 |
20.7% - 12.44% | __% 锗烷/氢气混合物 吸入危害 | 压缩气体, 有毒，易燃, 未另作说明 (_% 锗烷/氢气混合物) 2.3 UN 1953 吸入中毒危害, 危险区D | 有毒气体 |
<12.44% | _% 锗烷/氢气混合物 吸入危害 | 压缩气体, 有毒，易燃, 未另作说明 (% 锗烷/氢气混合物) 2.1 UN 1954 | 易燃气体 |
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