锗烷GeH4 混合物
为了提供小于100%的浓度，锗烷可以用氩、氦、氢、氮稀释。特别是当相对少量的锗需要沉积时，使用这种形式的锗烷可以使工序增加一个额外的控制程度。
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容器信息 |
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气瓶接头: CGA-350 |
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锗烷浓度 |
气瓶尺寸 |
压力 |
氩气 |
氦气 |
氢气 |
氮气 |
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ft3 |
m3 |
ft3 |
m3 |
ft3 |
m3 |
ft3 |
m3 |
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5ppm - 2% |
044 |
1500 |
167 |
4.7 |
146 |
4.1 |
146 |
4.1 |
156 |
4.4 |
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为了安全考虑，高浓度混合物的压力低于上面显示的压力。由于锗烷具有潜在的不稳定性，因此气瓶只灌冲了少量的锗烷。如果其自发分解，气瓶可以安全地容纳热量和压力。 |
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保存期限：6个月 |
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发货信息 |
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氢平衡 |
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含量 |
货物名称 |
货运票据 |
装运标签 |
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>62.2% |
_% 锗烷/氢气混合物吸入危害 |
压缩气体, 有毒，易燃, 未另作说明 (_% 锗烷/氢气混合物) 2.3 UN 1953 吸入中毒危害, 危险区B |
有毒气体 |
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62.2% - 20.7% |
_% 锗烷/氢气混合物 吸入危害 |
压缩气体, 有毒，易燃, 未另作说明 (_% 锗烷/氢气混合物) 2.3 UN 1953 吸入中毒危害, 危险区C |
有毒气体 |
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20.7% - 12.44% |
__% 锗烷/氢气混合物 吸入危害 |
压缩气体, 有毒，易燃, 未另作说明 (_% 锗烷/氢气混合物) 2.3 UN 1953 吸入中毒危害, 危险区D |
有毒气体 |
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<12.44% |
_% 锗烷/氢气混合物 吸入危害 |
压缩气体, 有毒，易燃, 未另作说明 (% 锗烷/氢气混合物) 2.1 UN 1954 |
易燃气体 |
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